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扩散泵油的断续沸腾主要是由下列因素引起的：
1.扩散泵漏水，可能是扩散泵上的两个进气管漏水，管道密封圈因为温度过高（冷却时间太长）而出现了渗漏、渗漏、熔焊（通常不会出现），通常是更换密封套，更换硅油或者扩散泵油.
2.反向扩散的气体分子
3.扩散泵油的裂化分解，通常，扩散泵的工作油需要在饱和蒸汽压以下（约0.00000001 Pa）以下，具有良好的耐热性，不容易被氧化。
4.因化学反应引起的油泵内部杂质而产生的效果
受吸气体的反向扩散是限制扩散泵实现真空的一个重要原因。气体的反向扩散与分子质量相关，粒子的体积越小，反扩散的可能性越大。扩散泵抽氢容易发生反扩散，目前存在两种防止氢气反扩散的方法：一是通过两个扩散泵串联作用，减小扩散泵的排气压力；第二，在扩散泵的进气口管线上加装了液氮冷却的钛升华阱，以捕获反扩散的氢气。
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